优艾智合半导体移动操作机器人项目获广东省技术发明奖一等奖

优艾智合牵头的“面向半导体制造的高稳定移动操作机器人关键技术与系统”项目获2025年度广东省科学技术奖技术发明奖一等奖。项目称在物料振动控制、大范围导航定位与末端抓取精度、“手眼脚”一体化安全管控三方面取得突破，OW系列和ATS系列移动操作机器人已进入国内外十余家晶圆厂，融入8/12寸晶圆和28nm芯片生产流程并7×24小时运行。