斯帝尔项目案例｜半导体异形件内壁精密抛光

斯帝尔用 PolishX 柔性力控装置搭配电主轴，对半导体铝合金异形结构件内壁做顺纹抛光，力控精度 ±0.8N、响应时间＜10ms、重复定位 ±0.01mm，配合变位机实现多区域打磨与自动换刀。实测单件节拍 ≤100s、一次合格率 ≥85%，抛光后无磕伤、划痕、裂纹和色差。该方案面向半导体设备行业异形结构件，提供抛光、打磨、去毛刺的 AI 柔性智能化方案并接受来料工艺验证。