聚焦电子特气，汉威科技半导体安全解决方案守护行业核“芯”命脉

汉威科技集团推出半导体行业全场景气体安全解决方案，覆盖特气监测、洁净室AMC微污染物监控、系统集成、动态巡检与平台运维。GD-HS10气体检测仪检测精度最高ppb级，可选配GD-PU10热裂解单元实现上百种电子特气检测，微量水光腔衰荡光谱分析仪可达ppt级定量测定。方案还含GMS可编程控制系统、FGS火气报警控制系统与搭载傅里叶红外扫描成像系统的智能巡检机器人，数据回传半导体厂务智能运维系统。